HETEROGENEOUS SURFACE RECOMBINATION OF NEUTRAL NITROGEN ATOMS
HETEROGENA POVRŠINSKA REKOMBINACIJA DUŠIKOVIH NEVTRALNIH ATOMOV
Alenka Vesel
Center of Excellence for Polymer Materials and Technologies, Tehnološki park 24, 1000 Ljubljana, Slovenia
Prejem rokopisa – received: 2011-06-14; sprejem za objavo – accepted for publication: 2011-07-18
An overview of data reported in literature on heterogeneous surface recombination of nitrogen atoms is presented. The data are often scattered for over an order of magnitude depending on experimental technique and perhaps also on surface finish. As a general rule the recombination coefficient is rather small for materials that do not chemisorb nitrogen atoms, and it is rather large for some metals that are known as catalysts. Values as low as 5×10–8 have been reported for Pyrex glass, although a typical value of the recombination coefficient for glasses is rather 1×10–5. The similar order of magnitude is found for very stable polymers such as polytetrafluoroethylene (teflon), although larger values are typical for some other polymers. The recombination coefficient for metals is typically 10–2 but can be as large as 0.3 for selected catalysts.
Keywords: nitrogen plasma, neutral nitrogen atoms, surface recombination, recombination probability
Podajamo pregled podatkov iz literature o heterogeni površinski rekombinaciji dušikovih atomov. Obstoječi podatki se pogosto razlikujejo za več kot velikostni red odvisno od eksperimentalne tehnike in verjetno tudi od predobdelave površine. V splošnem je rekombinacijski koeficient precej majhen za materiale, ki ne kemisorbirajo dušikovih atomov in precej velik za nekatere materiale, ki so znani kot katalizatorji. Zelo majhne vrednosti okoli 5×10–8 so bile objavljene za steklo Pyrex, čeprav je bolj značilna vrednost rekombinacijskega koeficienta za steklo okoli 1×10–5. Podoben velikostni red velja tudi za polimere kot je politetrafluoroetilen (teflon), medtem ko so za ostale polimere značilne precej višje vrednosti. Rekombinacijski koeficient za kovine je tipično okoli 10–2, vendar je lahko tudi precej višji okoli 0.3 za nekatere katalitične materiale.
Ključne besede: dušikova plazma, nevtralni atomi dušika, površinska rekombinacija, verjetnost za rekombinacijo
Celotno besedilo (PDF) – Full article (PDF)
Za pregledovanje celotnega besedila člankov uporabite programski vmesnik Adobe Acrobat Reader. Če ga nimate nameščenega na svojem računalniku, ga lahko prenesete z spletnega mesta Adobe Acrobat Reader Download.